Devlopman detèktè pou peze tipòtrè yo gen rapò ak pwogrè nan teknoloji MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems). Teknoloji MEMS pèmèt detèktè yo dwe miniaturize a kèk milimèt nan gwosè ak peze sèlman kèk gram, sa ki pèmèt entegrasyon yo nan aparèy entelijan portable (tankou fonksyon siveyans pwa nan smartwatch) ak elektwonik konsomatè (tankou presyon-bouton sansib sou smartphone), konsa elaji limit aplikasyon yo nan detèktè peze.
Dekouvèt teknolojik debaz la chita nan optimize nanokal eleman detèktè semi-conducteurs piezoresistive yo. Atravè enplantasyon iyon ak pwosesis depozisyon fim mens-, deteksyon segondè-presizyon nan 0.01% reyalize. Teknoloji anbalaj konpoze an anplwaye yon estrikti silikon -metal doub-, ki bay pwoteksyon imidite ak pousyè pandan y ap kontwole derive tanperati nan ± 0.005% / degre. Desen inovatè kontinye ap parèt, ki gen ladan detèktè substra fleksib ak solisyon endiksyon elektwomayetik.
Nan sistèm kondui panèl solè satelit, detèktè peze miniature reyalize mezi egzak nan nivo 0.1 N·m, ak zewo drift nan mwens pase 0.01% FS nan yon anviwònman vakyòm, asire deplwaman panèl solè lis ak presi. Nan jaden aparèy medikal, detèktè tipòtrè yo te aplike avèk siksè nan sistèm fidbak fòs jwenti nan robo chirijikal, amelyore presizyon operasyonèl nan nivo sub-mikwòn.
